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FIB雙束掃描電鏡

FIB雙束掃描電鏡

  • 訪問量:3587
  • 更新日期:2023-03-20
  • 產品介紹:Scios 2 DualBeam FIB雙束掃描電鏡系統創新性的功能設計,優化了樣品處理能力、分析精度和易用性,是滿足科學家和工程師在學術和工業環境中進行高級研究和分析的理想解決方案。
  • 廠商性質:代理商

產品介紹

品牌FEI/賽默飛

Scios 2 DualBeam FIB雙束掃描電鏡可快速輕松的定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。系統配備Thermo Scientific Auto Slice&View軟件,可以高質量、全自動地采集多種三維信息。無論是在STEM模式下以30kV來獲取結構信息,還是在較低的能量下從樣品表面獲取無荷電信息,系統可在廣泛的工作條件下提供出色的納米級細節。Scios 2 DualBeam可幫助所有經驗水平的用戶更快、更輕松的獲得高質量、可重復的結果,此外,系統專為材料科學中具挑戰的材料微觀表征需求而設計,配備了全集成化、極快速MEMS熱臺,可在更接近真實環境的工作條件下進行樣品表征。


Scios 2 DualBeam FIB雙束掃描電鏡參數:

發射源:高穩定型肖特基場發射電子槍

分辨率:
☆工作距離下1.4nm(1keV)

電子束參數:
☆探針電流范圍:1pA – 400nA
☆加速電壓范圍:200V ~ 30kV
☆著陸電壓范圍:20eV ~ 30keV
☆導航蒙太奇功能,可額外增大視場寬度

離子光學:
大束流Sidewinder離子鏡筒
加速電壓范圍:500v-30kv
離子束流范圍:1.5pA-65nA
15孔光闌
不導電樣品漂移抑制模式
離子源壽命至少1000h
離子束分辨率30kv下3.0nm

樣品室:
☆電子束和離子束重合點在分析工作距離處(SEM7mm)
☆端口:21個
☆內寬:379mm

樣品臺:靈活五軸電動樣品臺
☆XY范圍:110mm
☆Z范圍:65mm
☆旋轉:360° 連續
☆傾斜:-15°到+90°
☆大樣品尺寸,直徑110mm,可沿X、Y軸*旋轉時
☆大樣品高度,與優中心點間隔為85mm
☆大樣品質量 5 kg(包括樣品托)
☆同心旋轉和傾斜

樣品托:
☆標準多功能樣品托,以*方式直接安裝到樣品臺上,可容納18個標準樣品托架(φ12mm)、3個預傾斜樣品托、2個垂直和2個預傾斜側排托架(38°和90°),樣品安裝無需工具

探測器系統:可同步檢測多達4中信號
☆樣品室二次電子探測器ETD
☆鏡筒內背散射電子探測器T1
☆鏡筒內二次電子探測器T2
☆鏡筒內二次電子探測器T3(可升級)
☆ IR-CCD紅外相機(觀察樣品臺高度)
☆ 可用于圖像導航的彩色光學相機Nav-Cam+™
☆ 高性能離子轉換和電子探測器ICE
☆ 可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態背散射探測器DBS
☆ 電子束流測量

控制系統:
☆ 64 操作系統、鍵盤、光學鼠標
☆ 圖像顯示:24寸LCD顯示器,顯示分辨率1920×1200
☆ 支持用戶自定義的GUI,可同時實時顯示4幅圖像
本地語言支持


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